| | | | | 2020 8 18 | | | 2020 9 23 | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | 0 . 01 mm | | | | | | | | | | | | | | | | 20 | 200 | 10 | | 50 | 200 | 10 | | | | | | | | | | | | | | | | 2021 3 1 | | | | |